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同惠新品:TH199X系列精密源測量單元,為科技創新注入無限“源動力”
日期:2022/10/10


在半導體器件、超導材料和光電器件等測試領域中,為了更全面地檢測器件特性,提升整個測試系統的效率,往往對供給電源和測量同步性方面有更嚴格的要求,不僅要高效率高精度,而且要更便捷。 


TH199X系列精密源/測量單元(SMU)將高功率、高精度、高速源測量功能集成到單個儀器上,可以在四個象限內執行出色的電流/電壓輸出與測量,并具備直流、掃描、脈沖等多樣化功能,使您能夠執行各種不同的功能以及通過同一針腳進行各種不同的設備測試,這不僅簡化了連接,而且減少了使用儀器的種類和數量,降低了測試系統的占地空間和總體成本。 

 

Q:TH199X突破了哪些設計難點?

 

A1:四象限輸出,控制環路設計


要實現全象限的Force Voltage / Measure & Clamp Current以及Force Current / Measure & Clamp Voltage的功能,如果要使用離散器件搭建整個控制環路,無疑是非常復雜的。



作為主控的TH1991/TH1992系列不僅集成了Force Voltage和Force Current的環路控制以及鉗位功能,同時內部也集成多個range的shunt電阻可以實現多檔位的電流測量,可輸出高達±210V直流電壓、±3A直流電流以及±10.5A脈沖電流、最小10fA/100nV的電源和測量分辨率,支持高速采樣,可生成任意波形。 

 

A2:多種工作模式及測量

TH1991/TH1992系列精密源/測量電源打破傳統臺式SMU的局限性,具有更快速、更靈活、更小巧的特性。這種結合使得這些儀器不僅能夠實現傳統SMU之外的功能,而且變成一款多功能的儀器,可同時輸出并測量電壓和電流,在儀器中集成了電流源、電壓源、電壓表、電流表、電阻表功能,各功能可任意切換。

 

A3:半導體元件靜態特性測試

 

TH1991/TH1992系列精密源/測量單元系列采用了7英寸電容式觸摸屏,以Linux操作系統為底層,交互式圖形用戶界面及各種顯示模式,并內置了二極管、三極管、MOS管以及IGBT等器件的I/V曲線掃描功能,無需連接上位機即可完成IV功能測試,可顯著提高測試效率。

 

A4:TH199X系列-二極管CV曲線分析


 以往半導體CV曲線通常只測試正向電壓和電容的曲線,因而目前市場上測試CV曲線方案的電壓源部分只能輸出正向電壓,但特殊需求的客戶,需要測試電容的正反向CV特性曲線,目前市場上無具體解決方案。


同惠TH2838H精密LCR數字電橋結合TH1991系列精密源/測量單元完美的解決了這個問題,可提供20Hz-2MHz測試頻率范圍,±200V正反向電壓下的測試需求。具體方案如下:

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