TH521 的常規(guī)特性

? 高達 3.5kV/1800A的寬廣工作范圍

? 從 -50 °C 到 +250 °C 的全自動快速熱測試

? 自動創(chuàng)建功率器件（半導體和元器件）的技術資料

? 自動記錄功能可防止數(shù)據(jù)丟失

? AI輔助編寫python測試腳本

TH521 IV 套件特性

? 可對封裝和晶圓上器件進行全自動快速 IV 測量 （Ron、BV、泄漏、Vth、Vsat 等）

? 窄 IV 脈沖寬度（最窄 10 μs）可防止器件自發(fā)熱，更準確地測試器件實 際性能

? 示波器視圖（時域視圖）可以監(jiān)測實際電壓/電流脈沖波形，以便進行準 確測量

? 配置可以靈活擴展，添加 CV 和 Qg，將電流范圍從20 A擴展到 200A、 600 A 或1800 A

TH521 套件的完整特性

? IV 套件的全部特性

? 測量封裝器件在 3.5 kV 時的晶體管輸入、輸出和反向傳輸電容 

（Ciss、Coss、Crss、Cies、Coes、Cres）以及柵極電阻（Rg）

? 測量封裝器件的柵極電荷（Qg）曲線

? 計算功率損耗（傳導、驅(qū)動和開關損耗）

TH521 的常規(guī)特性

? 高達 3.5kV/1800A的寬廣工作范圍

? 從 -50 °C 到 +250 °C 的全自動快速熱測試

? 自動創(chuàng)建功率器件（半導體和元器件）的技術資料

? 自動記錄功能可防止數(shù)據(jù)丟失

? AI輔助編寫python測試腳本

TH521 IV 套件特性

? 可對封裝和晶圓上器件進行全自動快速 IV 測量 （Ron、BV、泄漏、Vth、Vsat 等）

? 窄 IV 脈沖寬度（最窄 10 μs）可防止器件自發(fā)熱，更準確地測試器件實 際性能

? 示波器視圖（時域視圖）可以監(jiān)測實際電壓/電流脈沖波形，以便進行準 確測量

? 配置可以靈活擴展，添加 CV 和 Qg，將電流范圍從20 A擴展到 200A、 600 A 或1800 A

TH521 套件的完整特性

? IV 套件的全部特性

? 測量封裝器件在 3.5 kV 時的晶體管輸入、輸出和反向傳輸電容 

（Ciss、Coss、Crss、Cies、Coes、Cres）以及柵極電阻（Rg）

? 測量封裝器件的柵極電荷（Qg）曲線

? 計算功率損耗（傳導、驅(qū)動和開關損耗）

TH521 的常規(guī)特性

? 高達 3.5kV/1800A的寬廣工作范圍

? 從 -50 °C 到 +250 °C 的全自動快速熱測試

? 自動創(chuàng)建功率器件（半導體和元器件）的技術資料

? 自動記錄功能可防止數(shù)據(jù)丟失

? AI輔助編寫python測試腳本

TH521 IV 套件特性

? 可對封裝和晶圓上器件進行全自動快速 IV 測量 （Ron、BV、泄漏、Vth、Vsat 等）

? 窄 IV 脈沖寬度（最窄 10 μs）可防止器件自發(fā)熱，更準確地測試器件實 際性能

? 示波器視圖（時域視圖）可以監(jiān)測實際電壓/電流脈沖波形，以便進行準 確測量

? 配置可以靈活擴展，添加 CV 和 Qg，將電流范圍從20 A擴展到 200A、 600 A 或1800 A

TH521 套件的完整特性

? IV 套件的全部特性

? 測量封裝器件在 3.5 kV 時的晶體管輸入、輸出和反向傳輸電容 

（Ciss、Coss、Crss、Cies、Coes、Cres）以及柵極電阻（Rg）

? 測量封裝器件的柵極電荷（Qg）曲線

? 計算功率損耗（傳導、驅(qū)動和開關損耗）

TH521 的常規(guī)特性

? 高達 3.5kV/1800A的寬廣工作范圍

? 從 -50 °C 到 +250 °C 的全自動快速熱測試

? 自動創(chuàng)建功率器件（半導體和元器件）的技術資料

? 自動記錄功能可防止數(shù)據(jù)丟失

? AI輔助編寫python測試腳本

TH521 IV 套件特性

? 可對封裝和晶圓上器件進行全自動快速 IV 測量 （Ron、BV、泄漏、Vth、Vsat 等）

? 窄 IV 脈沖寬度（最窄 10 μs）可防止器件自發(fā)熱，更準確地測試器件實 際性能

? 示波器視圖（時域視圖）可以監(jiān)測實際電壓/電流脈沖波形，以便進行準 確測量

? 配置可以靈活擴展，添加 CV 和 Qg，將電流范圍從20 A擴展到 200A、 600 A 或1800 A

TH521 套件的完整特性

? IV 套件的全部特性

? 測量封裝器件在 3.5 kV 時的晶體管輸入、輸出和反向傳輸電容 

（Ciss、Coss、Crss、Cies、Coes、Cres）以及柵極電阻（Rg）

? 測量封裝器件的柵極電荷（Qg）曲線

? 計算功率損耗（傳導、驅(qū)動和開關損耗）

■ 柵極電壓V_GS：0 - ±40V

■ 漏極電壓V_DS：0 - ±3000V

■ 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一鍵測量及顯示

■ 一體化設計：LCR+V_GS低壓源+V_DS高壓源+通道切換+上位機軟件

■ 單管器件（點測）、模組器件（列表掃描）、曲線掃描(選件)三種測試方式

■ 標配2通道，可擴展至6通道，可測單管、多芯或模組器件（TH513僅1通道）

■ CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描

■ 電容快速充電技術，實現(xiàn)快速測試

■ 接觸檢查Cont

■ 通斷測試OP_SH

■ 自動延時設置

■ Crss Plus功能：解決高頻下Crss負值問題

■ 高壓擊穿保護：DS瞬間短路，保護儀器

■ Interlock安全鎖功能：增加高壓防護墻（僅TH513）

■ Cs-V功能：二極管結(jié)電容CV特性測試分析

■ 等效模式轉(zhuǎn)換功能，可選Cs或Cp模式

■ 10檔分選

■ 柵極電壓V_GS：0 - ±40V

■ 漏極電壓V_DS：0 - ±200V

■ 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一鍵測量及顯示

■ 一體化設計：LCR+V_GS低壓源+V_DS高壓源+通道切換+上位機軟件

■ 單管器件（點測）、模組器件（列表掃描）、曲線掃描(選件)三種測試方式

■ 標配2通道，可擴展至6通道，可測單管、多芯或模組器件（TH513僅1通道）

■ CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描

■ 電容快速充電技術，實現(xiàn)快速測試

■ 接觸檢查Cont

■ 通斷測試OP_SH

■ 自動延時設置

■ Crss Plus功能：解決高頻下Crss負值問題

■ 高壓擊穿保護：DS瞬間短路，保護儀器

■ Interlock安全鎖功能：增加高壓防護墻（僅TH513）

■ Cs-V功能：二極管結(jié)電容CV特性測試分析

■ 等效模式轉(zhuǎn)換功能，可選Cs或Cp模式

■ 10檔分選

■ 柵極電壓V_GS：0 - ±40V

■ 漏極電壓V_DS：0 - ±1500V

■ 四寄生參數(shù)(Ciss、Coss、Crss、Rg或Cies、Coes、Cres、Rg)同屏一鍵測量及顯示

■ 一體化設計：LCR+V_GS低壓源+V_DS高壓源+通道切換+上位機軟件

■ 單管器件（點測）、模組器件（列表掃描）、曲線掃描(選件)三種測試方式

■ 標配2通道，可擴展至6通道，可測單管、多芯或模組器件（TH513僅1通道）

■ CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描

■ 電容快速充電技術，實現(xiàn)快速測試

■ 接觸檢查Cont

■ 通斷測試OP_SH

■ 自動延時設置

■ Crss Plus功能：解決高頻下Crss負值問題

■ 高壓擊穿保護：DS瞬間短路，保護儀器

■ Interlock安全鎖功能：增加高壓防護墻（僅TH513）

■ Cs-V功能：二極管結(jié)電容CV特性測試分析

■ 等效模式轉(zhuǎn)換功能，可選Cs或Cp模式

■ 10檔分選

■ 提供固定靜態(tài)偏置點進行窄脈沖動態(tài)IV測量，滿足準等溫測試條件

■ 實現(xiàn)器件寄生效應的量化測量與數(shù)據(jù)運算

■ 脈寬最小低至200ns

■ 具有內(nèi)部和外部同步能力

■ 脈沖時序設置和時域波形記錄

■ 儀器設備可與socket&半自動探針臺互聯(lián)，進行封裝以及晶圓級芯片測試

?電流到200A

■ 單通道和雙通道 N/P或組合器件測試   (MOSFET、IGBT以及二極管） 

■ 可測試高達2500V雪崩電壓、200A峰值電流等級設備 

■ 支持單脈沖雪崩測試（EAS)、重復雪崩能量測試(EAR）、 重復脈沖至失效測試(RPF) 

■ 高速校準DAC可提升測試精度 

■ 用戶可調(diào)節(jié)的電源電壓(10V至150V)穩(wěn)定可靠 

■ 漏極、源極接觸檢查電路可檢測20Ω以下的接觸電阻，提 供報錯提示(LED) 

■ 可設柵極驅(qū)動電壓(最大電壓差:30V，最大電壓值:28V)適 應不同被測件所需 

■ 可在雪崩前、雪崩后進行可調(diào)值的泄漏測試、以確定被測 件當前狀態(tài) 

■ 高速固態(tài)開關、帶故障檢測功能 

■ 高精度的電流和電壓波形捕捉以及雪崩持續(xù)時間捕捉 

■  7寸24位色TF LCD電容式觸摸屏，中英文可選操作界面， 用于單機操作、輸入測試規(guī)格以及提供測試數(shù)據(jù)顯示。 

■ 提供指令用于用戶將屏幕信息存儲于U盤 

■ 儀器有開機自檢和在線自檢功能、為用戶排查儀器內(nèi)部故 障問題 

■ 配備簡單自動校準程序，用戶可現(xiàn)場進行校準 

■ 配備多種接口:用于遠程測試控制的GPIB接口、前后面板各配備一個的高速串行接口、支持高速傳輸數(shù)據(jù)的LAN 口。 LAN口不僅可用于遠程測試控制,在用戶需要觀測即時 測試波形時，可使用 LAN口搭配上位機程序查看每一一次 的波形數(shù)據(jù)

■ 可與TH530-01 可編程電感負載箱(0.01 至159.9mH)或外部電感器配合使用 

■ 可外接示波器觸發(fā)器輸出，同步可視化雪崩測試過程，用 于準確測量雪崩時間

■ 單通道和雙通道 N/P或組合器件測試   (MOSFET、IGBT以及二極管） 

■ 可測試高達2500V雪崩電壓、200A峰值電流等級設備 

■ 支持單脈沖雪崩測試（EAS)、重復雪崩能量測試(EAR）、 重復脈沖至失效測試(RPF) 

■ 高速校準DAC可提升測試精度 

■ 用戶可調(diào)節(jié)的電源電壓(10V至150V)穩(wěn)定可靠 

■ 漏極、源極接觸檢查電路可檢測20Ω以下的接觸電阻，提 供報錯提示(LED) 

■ 可設柵極驅(qū)動電壓(最大電壓差:30V，最大電壓值:28V)適 應不同被測件所需 

■ 可在雪崩前、雪崩后進行可調(diào)值的泄漏測試、以確定被測 件當前狀態(tài) 

■ 高速固態(tài)開關、帶故障檢測功能 

■ 高精度的電流和電壓波形捕捉以及雪崩持續(xù)時間捕捉 

■  7寸24位色TF LCD電容式觸摸屏，中英文可選操作界面， 用于單機操作、輸入測試規(guī)格以及提供測試數(shù)據(jù)顯示。 

■ 提供指令用于用戶將屏幕信息存儲于U盤 

■ 儀器有開機自檢和在線自檢功能、為用戶排查儀器內(nèi)部故 障問題 

■ 配備簡單自動校準程序，用戶可現(xiàn)場進行校準 

■ 配備多種接口:用于遠程測試控制的GPIB接口、前后面板各配備一個的高速串行接口、支持高速傳輸數(shù)據(jù)的LAN 口。 LAN口不僅可用于遠程測試控制,在用戶需要觀測即時 測試波形時，可使用 LAN口搭配上位機程序查看每一一次 的波形數(shù)據(jù)

■ 可與TH530-01 可編程電感負載箱(0.01 至159.9mH)或外部電感器配合使用 

■ 可外接示波器觸發(fā)器輸出，同步可視化雪崩測試過程，用 于準確測量雪崩時間