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TH300E 集成電路教學實驗平臺
支持實驗
■ 肖特基勢壘特性及雜質的測量
■ 電阻式傳感器的工作原理與測量
■ 場效應晶體管直流參數測試
■ PN結直流特性測試及PN結參數的變溫測試
■ 雙極型晶體管直流參數的測量
■ MOS器件靜態特性測試分析
■ MOS器件CV特性測試
■ MOS器件動態開關特性測試
■ 集成運放特性分析測試（上、下）
順應科技發展，引領人才教育
科技是第一生產力，人才是第一資源。
教育的首要任務是快速提升人才培養質量，順應新時代的發展步伐，從產業需求及國際形勢出發，我國急需培養出一大批能夠開展理論研究、半導體設計、掌握工藝流程以及研發管理的復合型人才，這就對高等教育的專業基礎實踐課程提出了更高的要求。
同惠電子成立以來一直專注于測量測試領域，結合自身再微電子和半導體領域的測量測試經驗，多年的產學研合作經驗以及上下游廠商對于人才能力的要求，針對性的設計了微電子實驗系統，將實踐落實到教學，測試理念引入到教學環節中，為微電子和半導體實踐教學提供了新的方向。
微電子教學平臺基本特點
■ 豐富的實驗項目
微電子教學實驗系統提供了多達九種實驗項目，涵蓋了微電子學、集成電路設計等方面。這些實驗項目旨在幫助學生全面了解微電子學的基本原理和集成電路設計的方法。
■ 靈活的實驗配置
根據不同的教學需求和實驗課程設置，微電子教學實驗系統支持多種不同的實驗配置。學生可以根據自己的興趣和需求選擇合適的實驗項目，進行個性化的學習和實踐。
實驗平臺采用模塊化設計，可根據不同教學需求、實驗課程、方案預算等進行任意配置。先進的實驗設備
■ 先進的實驗設備
微電子教學實驗系統采用了先進的實驗設備和技術，如最新科技產品：半導體CV特性測試儀、數字示波器、雙通道數字源表、信號源等，這些設備可以為學生提供真實的現實微電子設計、制造及測試環境，有利于學生畢業后更快適應微電子行業環境。
■ 易于操作的學習平臺
根據不同的教學需求和實驗課程設置，微電子教學實驗系統支持多種不同的實驗配置。學生可以根據自己的興微電子教學實驗系統采用了直觀的操作界面和友好的人機交互設計，圖文化教學使學生能夠輕松地學習到微電子、集成電路、測試儀器的基本原理及實驗操作。同時，實驗臺還提供了詳細的實驗步驟和故障排除指南，幫助學生解決實驗過程中遇到的問題。
■ 高校集成電路學院
■ 高校微電子系
■ 高校物理系
■ 高校電子電工系
■ 微電子教學實驗系統總體方案
■ 實驗內容
■ 肖特基勢壘特性及雜質的測量
適用課程 | 實驗目的 | 測量儀器設備 |
半導體器件原理 | 掌握肖特基二極管的結構 | TH511E半導體器件CV特性分析儀 |
固體物理基礎 | 掌握肖特基勢壘結的形成原理 | TH1992B精密源/測量單元 |
半導體材料基礎 | 掌握肖特基二極管的整流特性和勢壘電容 | TH26011D直流偏置夾具 |
電子薄膜材料與器件 | 學會測量肖特基二極管的C-V特性 | 半導體元件實驗盒 |
學會計算雜質濃度 |
■ 電阻式傳感器的工作原理與測量
適用課程 | 實驗目的 | 測量儀器設備 |
硅光測試實驗 | 掌握各種不同電阻式傳感器原理 | TH511E 半導體器件CV特性分析儀 |
掌握LCR測量阻抗方式 |
■ 場效應晶體管直流參數測試
適用課程 | 實驗目的 | 測量儀器設備 |
半導體器件原理 | 掌握MOSFET基本結構與工作原理 | TH1992B精密源/測量單元 |
固體物理基礎 | 掌握MOSFET各參數的定義 | 半導體元件實驗盒 |
半導體材料基礎 | 掌握測量MOSFET轉移特性曲線與輸出特性曲線的方法 | 直流特性測試軟件 |
模擬集成電路 |
■ PN結直流特性測試及PN結參數的變溫測試
適用課程 | 實驗目的 | 測量儀器設備 |
半導體器件原理 | 掌握穩壓二極管工作原理 | TH1992B精密源/測量單元 |
固體物理基礎 | 掌握穩壓二極管伏安特性和參數定義 | 恒溫箱 |
半導體材料基礎 | 學會使用TH1902B型源表和恒溫箱測試二極管溫度特性 | 半導體元件實驗盒 |
■ 雙極型晶體管直流參數的測量
適用課程 | 實驗目的 | 測量儀器設備 |
半導體器件原理 | 掌握雙極型晶體管的基本結構及主要參數的定義 | TH1992B精密源/測量單元 |
半導體材料基礎 | 掌握利用源表進行雙極型晶體管輸入特性和輸出特性曲線的測量方法 | 半導體元件實驗盒 |
模擬集成電路 | 了解雙極型晶體管輸出特性的常見缺陷及其產生的原因 |
■ MOS器件靜態特性測試分析
適用課程 | 實驗目的 | 測量儀器設備 |
半導體器件原理 | 掌握MOFFET飽和漏電流IDSS、閾值電壓VTH、跨導等測量方法 | TH1992B精密源/測量單元 |
半導體材料基礎 | 掌握測量MOSFET輸出特性曲線的方法 | 半導體元件實驗盒 |
模擬集成電路 | 直流特性測試軟件 |
■ MOS器件CV特性測試
適用課程 | 實驗目的 | 測量儀器設備 |
半導體器件原理 | 了解場效應管的動態參數與寄生電容 | TH511E半導體器件CV特性分析儀 |
半導體材料基礎 | 熟悉動態參數中Ciss 、Coss 、Crss 等的定義及危害 | 半導體元件實驗盒 |
模擬集成電路 | 掌握動態參數中Ciss 、Coss 、Crss 等的測量 | |
掌握動態參數中Ciss 、Coss 、Crss 曲線掃描 |
■ MOS器件動態開關特性測試
適用課程 | 實驗目的 | 測量儀器設備 |
半導體器件原理 | 掌握MOSFET開啟過程 | 數字存儲示波器 |
半導體材料基礎 | 掌握MOSFET開關時間定義 | 函數信號發生器 |
模擬集成電路 | 熟悉函數信號發生器使用 | 動態開關特性分析軟件 |
熟悉數字存儲示波器使用 | 半導體元件實驗盒 |
■ 集成運放特性分析測試（上、下）
適用課程 | 實驗目的 | 測量儀器設備 |
半導體器件原理 | 了解集成電路的概念，熟悉集成運放放大器的結構 | TH1992B精密源/測量單元 |
半導體材料基礎 | 熟悉集成電路放大器中的各種參數概念 | TH1963A 數字多用表 |
數字集成電路 | 掌握集成電路放大器的參數測量方法 | 數字存儲示波器 |
模擬集成電路 | 函數信號發生器 | |
集成電路實驗盒 |
■ 實驗課程
序號 | 實驗名稱 | 理論課名稱 | 課程體系 |
1 | 半導體器件原理 固體物理基礎 半導體材料基礎 電子薄膜材料與器件 | 半導體器件物理 | |
2 | 硅光測試實驗 | ||
3 | 場效應晶體管直流參數測試 | 半導體器件原理 固體物理基礎 半導體材料基礎 模擬集成電路 | 半導體器件物理 半導體器件可靠性 |
4 | PN結直流特性測試及PN結參數的變溫測試 | 半導體器件原理 固體物理基礎 半導體材料基礎 | |
5 | 雙極型晶體管直流參數的測量 | 半導體器件原理 半導體材料基礎 模擬集成電路 | |
6 | MOS器件靜態特性測試分析 | 半導體器件原理 半導體材料基礎 模擬集成電路 | 半導體器件物理 半導體器件可靠性 集成電路原理與設計 |
7 | MOS器件CV特性測試 | 半導體器件原理 半導體材料基礎 模擬集成電路 | |
8 | MOS器件動態開關特性測試 | 半導體器件原理 半導體材料基礎 模擬集成電路 | |
9 | 集成運放特性分析測試（上、下） | 半導體器件原理 半導體材料基礎 數字集成電路 | |
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